NanoCalc薄膜反射测量系统
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NanoCalc薄膜反射测量系统

产品属性

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  • 型号NanoCalc
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产品描述
薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量,对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同,可以分析单层或多层膜厚。

产品特点

 1、可分析单层或多层薄膜
2、分辨率达0.1nm
3、适合于在线监测

操作理论

zei常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和透射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。

杭州谱镭光电技术有限公司

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