机械控制系统

1、工具轴承转速：300－20000rpm，可调。

*工具前进步径：100μm，10μm，1μm及0.5μm可选。

显示步径值。并具有快进和撤回功能。

* 工具左右移动范围：75mm（手动模式），24mm（自动模式），12mm（马达驱动）

工具左右移动控制参数：左右移动速度0.025－0.5mm/s；

使用空心钻时移动速度设置为0.

*自动磨抛功能：具有时间倒jishi自动控制和进程倒计数自动控制。

具有自动应力反馈功能，确保样品不被破坏。

可设定工具左右移动窗口，提高效率。

* 冷却液流速控制：自动蠕动泵控制，流速范围2－20ml/min。

2. 观察系统

*体视镜放大倍数： 配备品牌高端体视显微镜，放大倍数9.6x-77x

*照明系统：环形LED照明，4分割，可选不同的照明角度和亮度。

 带有坐标尺：12mm，120分格

* 带有可移动物镜：移动范围±5μm

* 对样品观察角度：0°－90°

3. 样品臂

*样品臂倾斜角度：0°－60°

*样品角度可调整：可选配样品角度调整适配器，角度调整范围X和Y方向各±5°

4. 可实现功能

*可为光学显微镜样品做定点切割、研磨、抛光等制备。