仪器介绍

      传统的纳米压痕仪包括光学成像系统和精密的样品台，样品通过磁铁固定并且能够手动控制。现在，他升级了，光学成像系统和样品台可以被改造。
         在产品的发展的过程中，高度重视高分辨率，快速和安全的表面检测（接触）和保护测试头的灵敏度。TANU-M特别适合于测量的已是半成品器件的表面。测试头是可拆卸以便于在大的平正表面上移动的测量。该移动测量头具有一个集成的被动振动减震系统，即使没有主动防振动系统和无外壳，也可以得到精确的测量。

技术参数

1.zei大载荷：1500 mN 分辨率: 200 nm
2.zei大位移：100 um 分辨率: 0.05nm
3.量