Ovation VHF電源系統-电源系统的组成
价格：面议

Ovation VHF電源系統-电源系统的组成

产品属性

  • 品牌AE
  • 产地美国
  • 型号 Ovation VHF電源系統
  • 关注度5
  • 信息完整度
  • 产地美洲
  • 供应商性质生产商
  • 产地类别进口
  • 价格范围5万-10万
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产地：美国； 品牌：AE

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产品描述
Ovation VHF電源系統
Ovation 全整合供電系統通過採用一種獨特的供電方案，能夠實現更快、更精確的製程過程，如要求嚴格的窄線寬、介電質蝕刻製程。該系統首次在無需外部感測器的情況下，為非 50-ohm 環境供電，反應比傳統電源更快。60-MHz 的設計減小了整個電漿鞘層的電壓勢能，最大限度地減小了離子蝕刻損傷，從而提高了薄膜品質和良品率。


新耕（上海）贸易有限公司

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