HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源-变频电源
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HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源-变频电源

产品属性

  • 品牌AE
  • 产地美国
  • 型号 HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源
  • 关注度10
  • 信息完整度
  • 产地美洲
  • 供应商性质生产商
  • 产地类别进口
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产地：美国； 品牌：AE

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产品描述
HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源
靈活的 HFV® 電源主要用於200和300 mm 晶圓製程、平面顯示器和 DVD 設備的電漿產生器，為離子化物理氣相沉積 (IPVD)、CVD 和蝕刻提供了製程一致性。這種通用電源的特點有數位合成變頻輸出和微處理器控制，輸出功率為5和8 kW。此外，其輸出頻率範圍為1.765-2.165 MHz。韌體上的頻率調諧參數可進行訂製，以確保在各種反應室結構和製程方法下的可重複運行。


新耕（上海）贸易有限公司

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