NANO-MASTER(那诺-马斯特）Platens样品台，使用技术，加热均匀性极高。NANO-MASTER的样平台（或称为基板、热板）可以加入射频偏压、水冷却、通过模块控制700°C范围的温度。基板的高度可调节，基片可旋转，真空腔体内没有任何引线。任何地方不会出现短路或电弧，因为所有引线、电热偶和冷却水管道都保持在大气压下。NM样品台可以直接安装到你的系统中，无论是RIE刻蚀、ICP刻蚀、ALE刻蚀，还是PECVD、ALD等沉积设备中，我们的基板都可以很方便的配套使用。

Platens样品台可应用的设备：

·         RIE反应离子刻蚀机

·         ICP感应耦合等离子刻蚀机

·         ALE原子层刻蚀设备

·         PECVD等离子增强化学气相沉积设备

·         ALD原子层沉积设备

·         其他设备

尺寸：

·         1-12英寸

·         可定制

Platens不同型号对应温度上限：

·         NM-LTP，低温热板，z高可加热到300°C

·         NM-MTP，中温热板，z高可加热到500°C

·         NM-HTP，高温热板，z高可加热到700°C

Different models allow for different temperature limits:

·         NM-LTP - Low Temperature Platen heatable up to 300°C

·         NM-MTP - Mid Temperature Platen heatable up to 500°C

·         NM-HTP - High Temperature Platen heatable up to 700°C