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精密液体气相发生器
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精密液体气相发生器
PIPES指数:7用户:应用:

型号型号: 精密液体气相发生器

品牌品牌:沈阳科晶

产地产地:辽宁

沈阳科晶自动化设备有限公司

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核心参数
产地: 中国大陆
供应商性质: 生产商
产地类别: 国产
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产品描述

精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统,其液体流量是通过数字液体泵来控制,最大流量为80ml/min,精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后,被系统里的加热装置加热成蒸汽,然后随导入的气体被带入到炉管中。本机能够导出多种液体,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H52,以及多种有机物混合。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜是极佳的研究设备。

精密液体气相发生器操作视频

 

产品型号

 精密液体气相发生器

主要特点

   1、流体和气体在一个316不锈钢罐中加热。

   2、采用30段程序化控温。

   3、气体流速通过浮子流量计控制。

   4、配有压力表,可测出液气混合罐中的气体压强。

   5、配有两个不锈钢针阀,以控制气体进出。

   6、可与本司所有管式炉和CVD系统相连接。

   7、已通过CE认证。

技术参数

   1、电源:单相AC208V-240V  50Hz/60Hz

   2、功率:1000W

   3、蠕动泵:精确度±0.02%FS,流量0-80ml/min(可调)

   4、最高工作温度:300℃

   5、控温精度:±1℃

   6、浮子流量计:0-2000ml/min(可调)

   7、出气口:外径1/4″

产品规格

 尺寸:350mm×335mm×300mm;重量:5kg

可选配件

加热带(缠绕在外接的管道上,以保证液体蒸汽在传输过程中不会液化。)


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