本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带?6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

    1、配有可耐1800℃的高纯氧化铝纤维制作的耐火砖，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。

    2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

    3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

    4、配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到3.8×10E-5 torr。

    5、配有双旋直连式机械泵。

技术参数

　高频感应加热炉

    1、工作电压：三相AC 380V  50Hz（需60A空气开关）

    2、最大输入功率：15KW

    3、振荡频率：30KHz-80KHz

    4、循环比：80%

    5、感应线圈：外径?120mm，内径?110mm，高50mm（可微调）

　温度控制器

    1、工作电压：AC208V-240V  单相

    2、控温精度：±5℃

    3、温度：连续工作温度1000℃-2000℃，最高工作温度1700℃（工作时间<30min）

    4、最大升温速率：1℃/s（0-1000℃）、0.5℃/s（1200℃-1700℃）

　石墨坩埚（易耗件）

    1、高纯石墨坩埚：外径?40mm，内径?37.1mm，高100.5mm（可选购SiC涂层，涂在坩埚内部，以提高金属熔炼时的洁净度）

    2、最大容量：样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2

　石英管和密封法兰

    1、石英管：外径?100mm，内径?92mm，长355mm

    2、顶部法兰：不锈钢法兰，装有不锈钢针阀，设有1个铠装接口（可插入热电偶至石英管内部，更准确地测量样品温度）

    3、底部法兰：设有不锈钢针阀和KF25接口（可通过波纹管与真空泵相连接）

　水冷机

    1、温度：5℃-30℃

    2、水流速：16L/min

    3、水箱容积：12L，采用不锈钢制作

  （建议使用特定的冷却剂液以达到最佳的冷却效果）

　真空泵

    1、工作电压：AC208V-240V单相

    2、抽气速率：120L/min

    3、极限真空度：10^-2torr

  （为了获得更高的真空度以达到更好的熔炼效果，可选购涡旋分子泵，真空度可达10E-5torr）

注意事项

　操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行，流量小于200ml/min，需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压，若气压超过安

　全值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤害。

其他事项

　本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。请参看下图。