技术规格：

1. 面电阻量测范围： 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)

2. 样品尺寸：支持10mm至300mm wafer

3. 量测系统包括：Jandel RM3000测试单元

4. 测试精度：0.05% at 23℃

5. 温度可变范围：-100℃ ~ 200℃

6. 软件操作简单可以支持with Windows XP, Windows 7 或Windows 8操作系统，USB2.0 或USB3.0接口

7. 可选择量测晶圆上1, 5, 9, 25, 49, or 121个测试点或者自定义量测图

8. 可绘制2D和3D数据结果图

9. 输出电阻，电阻率和厚度等量测结果

10. 系统支持JANDEL探测头，插入式更换，操作简单