AL120-12显微镜兼容300mm晶圆小铲车和显微镜系统

 Easy operation  

操作简单

AL120-12强调可用性，包括完全定制的检查模式和设备设计，考虑到可操作性，定制后端流程专用。

•AL120-12还为您提供了专属于FOSB的系统。

*高的系统可靠性和继承的系统性能

AL120-12允许对300毫米晶圆片进行安全和自动化的微检测，保持了AL110系列产品的高可靠性和安全性。

AL120-12采用奥林巴斯安全可靠的操作系统，可以实现翘翘的晶圆片和超薄的晶圆片之间的转换。

•AL120-12为您提供了易于操作和高可视性，优化的宏观检查位置和友好的控制面板。

专用微距照明装置(可选)

•用户可以选择宏观照明提供*佳照明，检查粒子，划痕，薄膜波动和散焦。

•高强度金属卤化物光源和光纤的组合，可用于300毫米晶圆片全表面的冷光源照明。

 • The combination of a high-intensity metal halide light source and fiber optics allows illumination of a full-surface of 300 mm wafer with cold-light illumination.