型号:Si+SiO2+Si3N4薄膜(进口料)
品牌:合肥科晶
产地:美国
产地: | 美洲 |
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供应商性质: | 生产商 |
产地类别: | 进口 |
产品名称: | Si+SiO2+Si3N4薄膜(进口料) |
常规尺寸: | dia 50.8±0.5 mm x 0.250 ±0.025 mm |
备注: | 可按照客户要求镀膜50-1000nm; |
标准包装: 技术参数: | 1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装 |
薄膜厚度: | 双面镀300nmSiO250nmSi3N4 |
研究级别: | about 80 % useful area |
生长方法: | 在1000℃干氧法 |
折射率: | - 1.455 |
Si参数: | <100>±0.5°;P型掺B ;R:0.01-0.1 ohm-cm, |
抛光: | 双面抛光 |