技术参数：

晶向：<0001>±1°

尺寸：9.9x9.9x0.5±0.05mm

吸收系数：Absorption coefficient< 80 cm-1Etch pit density

(EPD)：< 1E5 cm-2

可用面积Usable area：> 80 %

边缘排除edge exclusion：1.0 mm

表面粗糙度：Al 面: CMP polish (RMS < 0.8 nm), N 面: optical polish (RMS < 3 nm)

位错密度dislocation density：< 1E5 cm-2XRD

摇摆曲线图(spot size 10 x 1 mm2)：FWHM (002): < 0.3°，FWHM (102)< 0.5°   

产品规格：

9.9x9.9x0.5±0.05mm

标准包装：

1000级超净室100级超净袋真空包装盒