型号: VTC-2RF
品牌:合肥科晶
产地:安徽
产地: | 中国大陆 |
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供应商性质: | 生产商 |
产地类别: | 国产 |
价格范围: | 5万-10万 |
VTC-2RF是一款小型的射频(RF)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如300W(13.5MHz)的RF电源、2"的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜及非金属薄膜,它是一款物美价廉的实验帮手。
技术参数
输入电源 |
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等离子源 | 一个300W,13.5MHz的射频电源安装在移动柜内 (点击图片查看详细资料) |
磁控溅射头 |
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真空腔体 |
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载样台 |
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