型号：Cluster
品牌：MVSystems
产地：美国
| 产地： | 美洲 |
|---|---|
| 供应商性质： | 总代理 |
| 产地类别： | 进口 |
| 价格范围： | 5万-10万 |
R&D Cluster tools 研发用团簇PECVD PVD
R&D Cluster tools
Cluster tool w/ 8 port locations
具有8个腔室的团簇型沉积系统
30x40cm substrate
衬底尺寸为30x40cm
Computer controlled
可完全由电脑程序控制操作运行
?PECVD, HWCVD and Sputter capability 制备方式包括等离子体和热丝化学气相沉积，及溅射。
