产地：美国； 品牌：MVSystems
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在线式HIT用PECVD
In-Line PECVD system for HIT junctions
用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系统
Throughput: 18 wafers (6”)/cycle
产率：18片6吋硅片/循环
产品描述
