产品描述
| 舱体 | 内尺寸： 850 x 1460 x 1350mm 材料: 铝 壁厚: 30 mm. 舱门: 带有视窗的滑动门 电极: 5套水冷电极（900 (H) mm） 等离子区: 总计 4500 mm. 卷轴式载料系统: 外径: 200 mm；内径: 70 mm；卷宽：1100 mm 处理速度: 每分钟0.1-10米 |
| 抽真空系统 | 内置干式真空泵组，抽速：1000m3 /小时，免维护 |
| 频射发生器 | 0~5000w可调；KHZ发生器 |
| 控制系统 | 彩色触摸屏操作，PLC控制系统 PLC可实现下列功能： l 自动控制反应过程； l 根据处理材料设定不同的处理工艺流程； l 设置处理速度（Roll-to-Roll ） l 核查舱体内压力、抽真空时间、气体流量、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标； l 监测所有的运行指标，保证在设定范围之内； l 设定操作、维护密码。 |
| 电源 | 380V AC, 三相，50HZ, 63A. |
| 反应气体 | 标配2个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）。 （可根据需要扩展为5个） |
| 气体输入 | 直径1/4’’ 管道；输入压力：1Bar. |
| 尾气排放 | 直径38mm 输出端口。 |
| 安全性能 | 急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证。 |
