CILAS的可变形反射镜，利用压电材料所有共享相同的属性（PZT）来工作的。他可以精确控制很小的变形量（亚纳米级）和高响应速度（几百微秒）。

CILAS可以提供两种变形镜可供选择：

●堆栈阵列镜（SAM）：利用正压电效应，每个驱动单元都由一些压电磁盘组成，变形镜的行程是就是由所有压电磁盘的行程之和。

●双晶变形镜（BIM）：所谓单晶（MONO），是利用横向光电响应，在两块机械连接处产生差局部曲率。

变形镜在高功率激光方面的应用：

  变形镜最早是在法国马库锡实验室发明的，后来在几个国防项目中，变形镜主要用在高功率激光光束聚集中。