产品描述
产品特点
全自动控制，无需调整针阀
专利结构，靶材更换非常简单
特殊密封结构，玻璃不易损伤
专利结构，样品台高度调整方便
内置操作向导，无需培训即可熟练操作
应用领域
本仪器主要适用于扫描电镜镀覆导电膜，仪器操作简单方便，是样品制备所必备的仪器。适用的靶材：金、铂、金钯合金、银、铅、铜、铬、锑等
技术指标
工作方式：磁控溅射
外形尺寸：424(L)×271(D)×255(H)mm
极限真空：＜1Pa
溅射靶材：金、铂、金钯合金、银、铅、铜、铬、锑等
工作介质：空气或氩气
真空室：高硅硼玻璃φ128×100mm
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