SBC-12小型离子溅射仪
产品特点:
特殊密封结构,玻璃不易损坏
操作方便,无需培训即可使用
维护成本低,无需上门安装
技术指标:
真空系统 | 两级直联旋片真空泵 | 真空检测 | 皮氏计 |
真空保护 | 配有微量充气阀,用于调节离子流的大小 | 工作气体 | 空气或氩气 |
产品尺寸 | 工作腔室:内径Ф100 x 130毫米 载物台:小载物台直径Ф40毫米, 可同时放六个样品杯;大载物台直径Ф60毫米 金靶尺寸:Ф58毫米 |
应用领域:
本仪器主要适用于扫描电镜镀覆导电膜,仪器操作简单方便,是样品制备所必备的仪器。适用的靶材:金、铂、铬、银、钛、铜、镍、金钯合金等。
江苏常州常州大学
重庆重庆理工大学