产品特点
抽速可达4500l/s,广泛应用于真空镀膜
性能稳定,使用寿命长,占用空间少
维护保养简单,方便操作
适用范围广,性能稳定
应用领域
科学研究、ITO镀膜、光学镀膜、装饰镀膜、平板显示、真空炉、电真空、新能源、新材料、真空干燥、低温制冷、电子器件
技术指标
进气口法兰:DN400 ISO-K
排气口法兰(ISO-KF):DN100 ISO-K
抽速速率(L/s):N2:4500 He:3200 H2:2000 Ar:4200
压缩比:N2:5E7 He:1E3 H2:5E2 Ar:5E7
极限压强(Pa):2E-6
最大连续前级压强(Pa):100
最大前级压强(Pa):N2:300
最大气载量(sccm):N2:5500 He:4000 H2:3200 Ar:2100
额定转速(RPM):15300
启动时间(min):≤10
冷却方式:水冷
冷却水流量(L/min):≥1
冷却水温度(℃):≤25
电源电压(V AC):DC24/AC220
最大功率(W):≤1100
适配电源型号:FD-III
建议前级泵(L/s):30
重量(kg):118
尺寸
产品特性