聚焦离子束扫描电镜—GAIA3 XMU/XMH

TESCAN GAIA3电镜系统完美的集成了超高分辨率的电子光学系统和高性能的离子束系统，二者配置于同一样品室上。GAIA3电镜以MAIA3场发射扫描电镜为平台，在保留MAIA3优越性能的基础上，增加了使用聚焦离子束进行样品表面处理的功能。GAIA3具有创新性的场发射电镜设计，低电压下仍具有出色的分辨率，大大提高了其成像能力。与一般电镜的电磁物镜相比，GAIA3具有较窄小的电磁物镜，同时InBeam-SE探头和InBeam-BSE探头的位置都位于透镜内，这些设计都为FIB及其他分析设备提供了充足空间，使之能够在样品表面完成多项工作。

TESCAN的用户友好型软件、许多自动化程序、远程控制系统及脚本库都致力于帮助用户获得出色的结果，得到业界与用户的一致认可。GAIA3更是为经验丰富的用户提供了专家级系统设置的访问权，使用户能够根据自身需求进行观察条件的最优化设置。GAIA3拥有多用户使用环境、模块化软件设计、网络操作控制以及众多的扩展功能，是一款灵活全面的电镜设备。

产品特点：
单极60°电磁物镜设计，绝佳的SEM分辨率
一流的多种成像模式—大视场模式，分辨率模式以及景深模式—这些功能都基于TESCAN独有的大视场光学系统设计
马达控制的精准样品台，可进行精确的移动或倾转操作
Field-free模式下可对磁性样品进行有效观察
高达200nA的束流强度
停留时间低至20ns的快速电子束刻蚀速度
FIB的Cobra光学系统，确保聚焦离子束极高的分辨率和优异的性能，离子束流为1pA到50nA
强大的DrawBeam软件包，包含许多可编程设计模块（基础版和高级版）来实现扫描及制样等过程中可调参数的多样化
不仅具有对样品表面进行修饰和观察的多种功能，完美的空间设计还能够使电镜通过接口兼容多种探测设备与技术手段，且还能保持一致的最佳分析工作距离