产品介绍 
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本 家发表光学干杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为 代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。 
ET5000可以自动高精度测量尺寸880mm×230mm的大型样品。加载/卸载样品平台是可选的。其具有良好的稳定性、高精度和强大的功能。在平板显示器FPD，晶片，硬盘和其他纳米尺度上的应用广泛。

主要特点： 
（1） 的台阶再现性与线性度。 
（2）超高真直度，可确保量测图形不受任何影响，并可在真直度的保证下进行长距离测量。 
（3）采用超低噪音直动式 LVDT，超低测定力的触针可任意调节。 
（4）配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量。 
（5）可对应各种国际规范，测定参数多达 60 多种。 
（6）适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。 

技术参数 
最大样品尺寸：880 × 680 mm 
再现性：1 σ 1 nm 
测量范围：Z: 100 μm X: 100 mm 
分辨率：Z: 0.1 nm X: 0.1 μm 
测应力：0.5 μN to 500 μN