光学轮廓仪
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光学轮廓仪

产品属性

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  • 型号NanoFocus μScan
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产品描述
 NanoFocus μScan（激光扫描轮廓仪）μScan采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用，如Confocal point sensor、Autofocus sensor、Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。
AF2 自动对焦（Autofocus)
借由探测器的回馈讯号调整物镜位置，得到待测物焦点，而获得待测物的确实高度（如下左图）。
CF4 共轭焦（Confocal, Laser)
激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，此时

上海昭沅仪器设备有限公司

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