应用:
-太阳能电池:SiNX,a-Si,poly-Si,SiO2,绒面ARC膜厚,折射率,反射率等检测
-半导体:Si,Ge,PR,BLT,GaN,Ga,As...
-平板行业(含OLED) : MgO,ITO,ALq3,CuPc,PVK...
-聚合物:Dye,NPP,MNA,PVA...
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规格:
膜厚范围:20nm~50um
重复性:+/-1A
测试时间:0.5秒/点
检测膜层:可达10层
特点:
- 操作简单,快速
-非接触,非破坏
-重复性高
-多层膜检测
-数据库丰富