产地:; 品牌:
PIPES指数:1.0 用户:0 新闻:0 应用:0
仪器介绍: 欧洲专业的制造商,拥有20多年丰富的经验在:蒸发设备、溅射设备、等离子体增强化学气相沉积系统PECVD、等离子体刻蚀系统、感应耦合等离子体刻蚀系统、微波打胶机(去胶机)、反应等离子体灰化设备、微波等离子体增强化学气相沉积系统MPECVD等; 该微波等离子体增强化学气相沉积系统MPECVD系统,主要用于单晶、多晶金刚石薄膜的生长!
1.本底真空< 10-7 Torr 2.成膜均匀性:± 5% 3.zei大功率密度:80 W/cm3 4.微波电源:2.45GHZ,6kw (连续或者脉冲) 5.沉积速率:15 μm/h
1. 控制系统:计算机手动、半自动或者全自动控制;
2.腔体压力调节;
3.气体喷淋沉积方式;
4.可制备单晶、多晶金刚石薄膜,类金刚石薄膜DLC;
主要应用:
Tribologic coatings Optical windows Substrates Power electronics Heat dissipation Sensors
Orion Star A 便携式高端溶解氧测量仪
岩心/土壤高光谱成像仪
奥豪斯 SC310 pH电极
透射电镜(TEM)用氮化硅薄膜窗口
激光单粒子效应模拟测量系统
超低温高效节能冰箱U410-HEF, U570-HEF, C660-HEF & U725-G
856电导率仪
MXX-5分析天平