■ 技术参数
    - 放大倍率 : 30x ~ 100,000x  分辨率5nm
- 加速电压 : 5 ~ 30kV (5/10/15/20/30kV - 5 step)
■ 规格
    - 样品移动距离
: X: 20 mm, Y: 20 mm,
Rotation :  360°
Tilt : 0~45°, Z : 0~30 mm
    - zei大样品尺寸 : 直径80mm
- zei大样品厚度 : 35mm
■ 系统结构
    - 电子枪: 预对准钨灯丝
    - 检测系统 : 二次电子探测器
- 真空泵：
旋转式真空泵100L/min
涡轮分子泵80L/S
■ 设备主要构成
   - 笔记本电脑 1台
- 电子扫描显微镜主体一台
- 灯丝5个
- 载物台 15mm dia (10pcs/set)
25mm dia (5pcs/set)
15mm 45°tilt(5pcs/set)
15mm 90°tilt(5pcs/set)