浸没式肖特基Plus场发射电子枪

电子枪和低像差聚光镜的优化组合，实现了更高的亮度，能有效采集电子枪中发射的电子，即使在低加速电压下也能获得数 pA～数10 nA 探针电流，保持最小的物镜光阑就可以进行纳米尺寸的高分辨率观察、快速元素面分布及EBSD分析。

利用GBSH观察样品表面

以前的GB※模式经过改进后，可以对样品施加更高的电压，这样在低加速电压下也能获得超高分辨率的图像。从样品的浅表面观察到纳米尺寸的元素分析，GBSH能根据各种不同的应用选择加速电压。

※Gentle Beam(GB) 通过给样品加以偏压(GB)，对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。

通过柔和光束观察样品的浅表面

给样品加以偏压(GB)，对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低，也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式，用数十电子伏能量的入射电子束，就可以进行更高分辨率的观察。

通过多个检测器获取样品的所有信息

JSM-7800FPRIME配有四种检测器：高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同，二次电子和背散射电子的数量会改变，因此可以选择电子的能量，USD检测被过滤器弹回的低能量电子，BED通过检测低角度的背散射电子，能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。