产品描述
产品介绍
准分子EnergyMax能量探头是特别为波长为193nm的ArF激光器和波长为248nm的KrF激光器设计的。准分子EnergyMax系列精度高，有效探测面积大（最大口径可达50mm），并且采用新型涂层，从而大大提高了长期抗损伤能力。
准分子EnergyMax系列有多个不同型号，其最佳工作波长分别为193nm和248nm（对可见光和近红外光仍可精确测量）。这些探头都采用独 特的MaxUV涂层，大大提高了深紫外区的抗损伤阈值和抗紫外长期照射能力，同时也将最高响应频率提高到400Hz。准分子EnergyMax系列可自动 对环境温度和波长进行补偿，以获得更精确的数据读取。这系列探头与LabMax-TOP、FieldMaxII-TOP、FieldMaxII-P等能量 表头兼容。
所有准分子激光探头匹配可选的散热片后，都可以承受更高的能量或平均功率。这些散热片可分别将J-25MUV-193（-248）和J-50MUV-193（-248）可承受平均功率提高到36W和43W水平（波长193nm）。
产品特点
独特的MaxUV涂层，提高抗损伤阈值和长期抗紫外照射能力，提高响应频率
波长范围：190nm~2.1μm
能量测量范围：50μJ~250mJ
最高响应频率: 400Hz
自动波长补偿
自动温度补偿
主要应用
激光及基于激光的系统
激光测量及控制
精密光学
参数
型号 | J-25MUV-248 | J-25MUV-193 | J-50 MUV-248(W/O DIFFUSER) | J-50MUV-248(W/ DIFFUSER) | J-50MUV-193(W/O DIFFUSER) | J-50MUV-193(W/ DIFFUSER) |
能量量程 | 125 μJ to 250 mJ | 50 μJ to 100 mJ | 500 μJ to 1J | 500 μJ to 1J | 125 μJ to 250 mJ | 125 μJ to 250 mJ |
噪声等效能量 | < 4 μJ | < 2 μJ | < 16 μJ | < 16 μJ | < 4 μJ | < 4 μJ |
波长范围（μm） | 0.19 to 2.1 | 0.19 to 2.1 | 0.19 to 2.1 | 0.19 to 0.266 | 0.19 to 2.1 | 0.19 to 0.266 |
有效区域直径（mm） | 25 | 25 | 50 | 50 | 50 | 50 |
最大平均功率（W） | 5 | 5 | 10 | 15 | 10 | 18 |
最大脉冲宽度（μs） | 43 | 43 | 86 | 86 | 86 | 86 |
最大重复频率（pps） | 400 | 400 | 200 | 200 | 200 | 200 |
最大能量密度（mJ/cm2） | 260(@ 248 nm, 10 ns) | 200(@ 193 nm, 10 ns) | 260(@ 248 nm, 10 ns) | 520(@ 248 nm, 10 ns) | 200(@ 193 nm, 10 ns) | 400(@ 193 nm, 10 ns) |
探测器涂层 | MaxUV | MaxUV | MaxUV | MaxUV | MaxUV | MaxUV |
校准波长（nm） | 248 | 193 | 248 | 248 | 193 | 193 |
校准不确定度（%） | ±3% | ±3% | ±3% | ±3% | ±3% | ±3% |
电缆长度（m） | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
电缆接头类型 | DB-25 | DB-25 | DB-25 | DB-25 | DB-25 | DB-25 |
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