系 统

传感器与生产线相结合使得在测量微米和亚微米级别的表面特性时该设备可以提供高分辨率，可重复型和可溯源的结果。所测得结果的分辨率是传统2D测量和接触式测量所不能比拟的。

优 势

在研发和生产过程中，自动变焦（Focus-variation)技术可以提供高分辨率、高重复性的测量结果。因此IF-SensorR25为研发和生产提供了同一个测量流程平台。标准化界面(QDAS)支持生产中的简易快速整合，实现了生产线和实验室测量结果的对比。

光学三维在线测量仪IF-SensorR25的技术参数：

位移距离（Z）：26mm（自动调节）

最大扫描高度：25mm

最佳垂直分辨率：20nm

最小测量半径：2μm

最小测量楔角：20°

最小测量粗糙度(Ra):80nm

最小测量粗糙度(Sa):50nm

最大测量倾斜角：87°