自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G4的主要功能：

表面形貌测量

粗糙度测量

表面纹理测量

体积测量

二维图像测量

重复性测量任务的编程操作

形状测量

偏差测量

轮廓测量

刃口测量

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G4的技术参数：

位移范围(X、Y、Z轴)：100×100×100mm

样品表面结构：表面形貌Ra＞10-15nm，Lc=2μm

最大样品高度：100mm-240mm

最大样品倾斜角：85°

最大扫描高度：22mm

最佳垂直分辨率：10nm

最大扫描面积：10000mm2

最大单一扫描范围：100mm

最小测量粗糙度（Ra）：30nm

最小测量粗糙度（Sa）：15nm

最小测量半径：1μm

最小测量角度：20°