自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的突出特点：

一款全方位的3D光学测量仪

InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。

万能和高效

LED环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。

高分辨，高可重复性和可溯源

即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率

高测量速度

InfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。

模块化和可扩展性

新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合

全自动

测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的主要技术参数：

位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm

样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取决于表面结构

最大样品高度：100mm ～ 345mm

最大样品重量：30kg

最佳水平分辨率：0.44μm

最佳垂直分辨率：10nm

最大扫描高度：22.5mm

最大扩展视野范围：10000mm2

最大单一方向扫描范围：100mm

测量速度:170万个测量点/秒

最小测量高度：0.01μm

最大测量高度：22.5mm

最大测量范围：10000mm2

最大测量形貌长度：100mm

最小可重复性：0.001μm

最小测量粗糙度（Ra）：0.03μm

最小测量粗糙度（Sa）：0.015μm

最小测量半径：1μm

最小测量垂直角度：20°

最大测量倾斜角度：87°