YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR200/300/301
YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR200/300/301
YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR200/300/301
价格:面议

YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR200/300/301

产品属性

  • 品牌雅马拓
  • 产地日本
  • 型号 PR200/300/301
  • 关注度821
  • 信息完整度
  • 产地亚洲
  • 供应商性质区域代理
  • 产地类别进口
  • 仪器种类
  • 价格范围20万-30万
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产品描述

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机
用途
●  高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通   过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能   基(微量的水分及二氧化碳影响)。   同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生   成-NH 2等官能基。
●  硅晶圆蚀刻。
●  材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
●  石棉预处理(膜过滤灰化)。
●  从电子设备到生化市场。
●  低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
●  使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
●  表面有机物去除
特点
●  RF为200 W的高性能输出类型(PR200)。
●  由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。
●  同步,自动调谐,操作简单(PR200)。
●  等离子体反应器(灰化设备)(PR200)。
●  同步、自动调谐(PR200)。

反应腔

[例]石棉分析前处理

规格

型号

PR200

PR300

PR301


模式

DP模式,桶型




控制部

高频输出

Max300W



频率

13.56MHz




同调方式

手动2轴同调方式




反应部

反应腔

耐热玻璃 Φ100×160mm

超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室

耐热玻璃 Φ118×160mm

反应气体

1系统(氧气)流量计




控制

手动密闭阀

自动减压、自动密闭阀



配管材质

不锈钢、特氟龙、铜、铜合金

不锈钢、特氟龙



外形尺寸

W350×D400×H500mm

W438×D520×H556mm

W438×D520×H630mm


重量

约10kg

约36kg

约34kg


电源

AC100V 15A

AC100V 7A




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