“The Grand EPMA” 诞生

搭载最尖端场发射电子光学系统将岛津EPMA分析性能发挥到极致。

从SEM观察条件到1μA量级，在各种束流条件下都拥有无与伦比卓越空间分辨率的尖端场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥至极致。

当之无愧的 “The Grand EPMA” ，最高水准的EPMA诞生！

[性能特点]

● 卓越的空间分辨率

电子探针可达到的最高级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV），分析条件下No.1的二次电子分辨率。

（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

● 大束流超高灵敏度分析

实现3.0μA（加速电压30kV）的最大束流。可超高灵敏度进行超微量元素的面分析。并且全束流范围无需更换物镜光阑。

● 高性能X射线谱仪

秉承岛津电子探针颇具优势的52.5°X射线取出角。采用4英寸罗兰圆半径的分光晶体兼顾高灵敏度与高分辨率。可同时搭载5通道高性能X射线谱仪。分析性能更胜一筹。

● 全部分析操作简单易懂

全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式，自动指引直至生成报告。

◎实现微区超高灵敏度分析的先进技术

1　高亮度肖特基发射体

岛津场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更

大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳

定大电流。

2　 EPMA专用电子光学系统

电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜

形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可

变光阑透镜来形成交叉点的。简单的透镜结

构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定最合适的打开角度，将电子

束压缩到最细。当然是不需要更换物镜光阑的。

3　超高真空排气系统

电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔（orifice）间隔方式的2

级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到最小，以控制流入中

间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作。

4　高灵敏度X射线谱仪

岛津场发射电子探针最多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。

52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线

的吸收，实现高灵敏度的分析。