产品描述
NX-B100/B200整片基板纳米压印系统经过了大量的实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定。具备全部压印模式：热固化、紫外固化和压印。基于独特专利保护的Nanonex气垫软压技术（ACP），不论模版或基板背面粗糙程 度如何，或是模版或基板表面波浪和弧形结构，NX-B100/B200均可对其校 正补偿从而获得无与伦比的压印均匀性， ACP消除了基板与模版之间侧向偏移，有效地延长了模版使用寿命。通过微小热容设计可获得快速的热压印周 期，最终得到快速的工艺循环，适用于小于4英寸的晶圆片。
所有形式的纳米压印
? 热塑化
? 紫外固化 (NX-B200)
? 热压与紫外压印同时进行(NX-B200)
? 热固化
气垫软压技术(ACP)
? Nanonex专利技术
? 完美的整片基板纳米压印均匀性
? 高通量
低于10nm分辨率
快速工艺循环时间（小于60秒） 灵活性
? 最大75毫米直径压印面积 ? 各种尺寸及不规则形状模
板与基板均可压印
方便用户操作
基于超过12年、15代产品开发 经验的自动化压印操作
Nanonex压印系统经过大量实 时实地验证，质量可靠，性 能优越稳定
全自动纳米压印
热塑压印模块（NX-B100/B200）
● 温度范围0～250℃
● 加热速度>200℃/分钟
● 制冷速度>60℃/分钟
● 压力范围0 ～ 3.45 MPa（500 psi）
紫外固化模块（NX-B200）
● 58mW/cm2紫外LED光源
● 365纳米或395纳米波长可选
● 全自动化控制
模版装载功能
● 最大3″模板可用于标配纳米压印系统
基板装载
● 标配纳米压印系统可装载3″基板
● 各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印
● 独特专利保护ACP技术可最大限度保护模板和基板，特别对 于象磷化铟（InP）等极易碎模板和基板给予最大限度。
