产品描述
低温系列，闭环控制高负载压电扫描台
⊙ 紧凑的设计，外形尺⼨：25 * 25 * 13.5 mm
⊙ 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK
⊙ 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场
⊙ ⾼负载：200 g
⊙ ⾏程@300 K：55 * 55 um
⊙ 闭环控制，空间扫描达到 0.3 nm 分辨率
详细参数
| Scanner25-xy | Scanner25-xy.ULT | Scanner25-xy.UHV | Scanner25-xy.ULT.UHV | |
| 底座尺寸 (Footprint) | 25 mm*25 mm | |||
| 高度 (Height) | 13.5 mm | |||
| 重量 (Weight) | 23 g | |||
| 扫描维度 (Scanning Axies) | X, Y | |||
| 工作环境 (Work Environment) | ||||
| 基础运行环境 (Work Environment) | 温度范围：1.6 – 400 K; 真空度：1E-7 mbar; 最高磁场：18 Tesla | |||
| 极低温 30 mK – 400K (Option 1) | ✔ | ✔ | ||
| 超高真空 2E-11 mbar (Option 2) | ✔ | ✔ | ||
| 材料 (Materials) | ||||
| 主体 (Mainbody) | 纯钛 (Pure Ti) | 铍铜 (BeCu) | 纯钛 (Pure Ti) | 铍铜 (BeCu) |
| 线缆 (Wires) | 磷铜双绞线 (Phosphor Bronze Twisted Paired Wire) 20 cm | |||
| 插针材料 (Pins Materials) | Polyester (Glass Fiber Filled), BeCu | Peek, BeCu | ||
| 插针数目 (Pins) | 每个扫描维度2 pins | |||
| 运动参数 (Motion) | ||||
| 行程 (Travel Range) | 55 um*55 um | |||
| 驱动电压 (Drive Voltage) | Max. 120 V @300 K Max. 200 V @4 K | |||
| 最大负载 (Load) | 200 g | |||
| 电容@300 K (Capacitance) | 0.6 uF | |||
| 闭环传感 (Closed-loop Sensor) | ||||
| 空间扫描分辨率 (Resolution) | 0.3 nm | |||
| 线性度误差 (Linearity Error) | Typical ~ 0.1 % | |||
| 可重复性 (Repeatability) | < 10 nm | |||
| 注：低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。 *In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended). | ||||
关键尺寸图
相关药典
相关产品
