仪器简介：
应用:
自旋阀 /AMR/ GMR
磁隧道结
介电界面涂层
Rugate Filters
High-k 材料
形状记忆合金
光电材料
超导材料
单一结晶GaN

主要特点：
高效高产量，低能量等离子体源
6 x 4" 偏置靶材旋转架
独立偏置靶材，专业用于控制沉积合金复合材料
100mm 直径样品表面处理
<3% 非均匀性（75 mm面积）
衬底样品表面等离子体清洗，刻蚀氧化，氮化
水冷，旋转，磁化，挡板样品台，加热至 600 C
单片样品传输台（load lock stage）