型号:Unipol-160D
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产品型号:UNIPOL-160D 双面研磨抛光机
产品简介:UNIPOL-160D 双面研磨抛光机是一种高精度双面研磨和抛光设备. 它能同时对4片zei大2" 的基片进行双面研磨和抛光, 并获得在直径2"区域内TTV 小于1um .所以它是一台在实验室研磨抛光Si, Ge 和氧化物单晶基片的理想工具。
技术参数:
1、研磨盘尺寸:225(外径)x 94(内径)x 15(厚度)mm
2、上磨盘的重量及配重:5.5kg (3kg 配重)
3、游行轮规格:z=54 m=1.5 dia.81mm (环氧)
4、游行轮zei多使用数量:4
5、zei大加工基片尺寸: dia. 60mm
6、平面度和平行度:0.001mm
7、研磨和抛光精度:+/-0.001mm
8、 表面质量:> grade 10
9、输入电源: 单相 AC 220v
10、电机:DC110V/600W/0-1500rpm 可调
外形尺寸:615x375x494mm
净重:80kg
可选配件:
一片直径 60 mm 或2" 基片
3 片直径 1" 基片
14 片10x10mm 基片
详细信息请点击查看:www.kjmti.com