型号:D07-11C
品牌:sevenstar
产地:北京
仪器简介:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数:
满量程流量范围(N2) |
5SCCM~30SLM |
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控制范围 |
2~100%F.S. |
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阀类型(及阀初始状态) |
电磁调节阀(常闭) |
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准确度 |
≤10SLM |
±1%F.S. |
>10SLM |
±2%F.S. |
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线性 |
≤10SLM |
±0.5~1%F.S. |
>10SLM |
±2%F.S. |
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重复精度 |
±0.2%F.S. |
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响应时间 |
≤4sec |
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工作温度范围 |
5~ |
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工作压差 |
≤10SLM |
0.2~0.8MPa |
>10SLM |
0.2~0.6MPa |
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耐压 |
10MPa |
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漏气率 |
1×10-9SCCSHe |
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密封材料 |
氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 |
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接头选择 |
VCR |
1/4” |
Swagelok |
1/4”、1/8”或φ3、φ6mm |
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电插头形式 |
DB15 pin(Male) |
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抗电磁干扰 |
CE |
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重量 |
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主要特点:
★高耐压性
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头,国际标准机械接头
★CE认证,国际兼容