型号:D07-7CM
品牌:sevenstar
产地:北京
仪器简介:
质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA
输出电压检测…………0~+5.00V
技术参数:
满量程流量范围(N2) |
5SCCM~10SLM |
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控制范围 |
2~100%F.S. |
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准确度 |
±1.5%F.S. |
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线性 |
±0.5~1.5%F.S. |
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重复精度 |
±0.2%F.S. |
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响应时间 |
≤7sec |
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工作温度范围 |
5~ |
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工作压差 |
<0.01MPa |
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耐压 |
3MPa |
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漏气率 |
1×10-8atm.cc/sec He |
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密封材料 |
氟橡胶(或氯丁橡胶) |
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电插头形式 |
DB15 pin(Female) |
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接头选择 |
VCR |
1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok |
1/ |
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抗电磁干扰 |
CE |
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重量 |
0.92Kg |
主要特点:
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFM
★7B型的更新换代型
★管状分流,使用寿命长