可在样品微米领域进行高灵敏度的元素分析。控制系统全部数字化。观察、分析只需使用鼠标、键盘、操作极为便利，并可通过互联网进行计算机操作。EPMA-1610型配备高性能CeBix灯丝，实现了在亚微米领域的实用化。

●分析元素：4Be(选配)，5B~92U
●X射线分光器：高灵敏度型zei多5台
●zei大样品尺寸：100mm□×5mmt
●X射线检出角：52.5o
●二次电子分辩率：6nm(EPMA-1600),5NM(EPMA-1610)

zei基本的微区分析装置EPMA。电子探针分析如今是在多种领域中不可或缺的重要分析手段。
EPMA-1600/1610为数字式EPMA，操作简便性和可靠性兼备，这是以往的EPMA难以做到的。
以往的EPMA模拟操作和数字操作混在一起。但是，EPMA-1600/1610通过DDSC将与操作相关的主要硬件全部数字化，使用软件对其控制。操作者无需繁琐的操作，就像调出工作站上的一个应用程序那样，轻松可靠地获得检测数据。
可像office那样方便使用的数字式EPMA便是岛津的EPMA-1600/1610。
· EPMA-1610配备CeBix高亮度电子枪，zei适合进行亚微米微区分析的用户使用。

使用EPMA-1610分析钢铁中微小夹杂物
· EPMA-1600系列可在短时间内完成可靠的定性分析和无标样定量分析。

使用EPMA-1600进行的矿物定性分析例
· 使用EPMA-1600进行的钢珠跟踪成图例

使用EPMA-1600进行的钢珠跟踪成图例