型号：AXIS-ULTRA型
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采用新开发的双模式分析器，从数秒至数十秒的时间内得到数μm以下的高分辩元素图，化学状态图，是真正的成图XPS。并且，若在图像上以鼠标点击指定分析位置，则无需移动样品，便可进行zei小到15μmt微小区域的多点能谱分析。
●图像分辨率(边缘分辩率) ：2μm左右
●XPS灵敏度：宏 11,800kcps/110μmΦ 735kcps
27μmΦ28kcps/(Ag3d5/2、450W、1.3eV)
●zei小分析直径(能谱分析) 15μmΦ
