三维形貌轮廓仪有北京德华公司提供详细配置及技术资料
021－61482080－21/11

型号SPY                             型号CF
测量原理 激光全息偏振               激光共焦谐振
测量范围Z 1.8—35mm                    1mm
工作距离 15—90mm                       4mm
Z轴分辨率 0.4—4um                    100nm(选项50nm)
X,Y分辨率 12—35um                        1um
测量角度 90°±70°                    90°±25°

■粗糙度
■平面度 波面度
■2D/3D轮廓
■单层/多层膜层分析
■外形形貌
■平行 共面性 角度
■几何尺寸
■磨擦断裂分析
■光刻腐蚀分析