F系列涡轮分子泵利用高速转动的转子携带气体分子获得超高真空，极限真空度可达10-8Pa，不能直接对大气排气，需要配置前级泵，广泛应用于表面物理和分析仪器、等离子体物理和空间研究、核聚变反应装置、高能加速器、真空镀膜、真空冶炼、半导体和光学器件制造等需要高真空和超高真空领域。

型号 极限压力(Pa) 抽气速率(L/s) 压缩比 转速(RPM) 启动时间(min) 前级压力(Pa) 前级泵抽速(L/s) 冷却水温度(℃) 冷却水压力(MPa) 烘烤温度(℃) 重量(kg)

F-150/450 10-6 10-8 450 108 102 24000 ＜5 10 8 16 0.2 120 35

F-250/1400 10-6 10-8 1400 108 104 24000 ＜10 10 30 16 0.2 120 70

F-400/3500 10-6 10-8 3500 1010 104 15000 ＜30 10 70 16 0.2 120 160

· 理想的动平衡，震动和噪音小。

· 陶瓷轴承使用寿命长。

· 无油，不会产生碳氢化合物。

· 压力10-1～10-8Pa范围内均有恒定的抽速。

· 免维护，经久耐用。

· 体积小，重量轻。