泵 级 别:二级
排气速度:93.0 L/min
zei终真空度(无气体平衡阀):2×10-3 mbar
zei终真空度(有气体平衡阀):1×10-2 mbar
外型尺寸(L×W×H):505×300×210 mm
重 量:25.5 Kg
由二级油封旋叶泵和二级无油隔膜泵组成
zei终真空度可以达到1×10-4mbar
耐腐蚀性强,运转无须冷阱,大大减少了腐蚀性气体的腐蚀
大大减少了油的浪费
出气口有效地回收有害气体
易于维护
装有超负荷工作保护装置