RGA系列残余气体分析仪可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。
• 100，200，和300amu 优于1amu 的分辨率6 个量级的动态范围可检测5 x 10-14Torr

• 实时RGA Windows 和LabVIEW 软件质谱，泄漏检测和压力对时间方式现场可更换的电子倍增器和灯丝RS232 计算机接口

残余气体分析仪（RGA）划分为RGA100、RGA200、RGA300amu三种型号，其优异的性能和价值是真空分析仪的领先产品。每一个RGA 系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成，实时分析windows 软件包可以更方便用于数据采集和分析，并可进行远程控制。