[ 产品特点 ]
1. 低能着陆电压下获得高分辨率图像
2. 可实现大尺寸到纳米精度的切割
3. 批量自动制备TEM薄片样品
4. Atlas 5可创建多尺度、多模式综合图像
5. ToF-SIMS 实现高通量3D成份分析
6. 特别设计的无漏磁镜筒
7. 不导电样品不受荷电效应影响
8. 加装飞秒激光模块,实现亚毫米级快速加工,同时有效避免腔室污染
[ 应用领域 ]
1. 生命科学,如断层扫描,三维重构
2. 电池领域,如原子层组分表征
3. 半导体领域,如失效分析,电路修复
4. 金属领域,如界面分析,亚表面分析
5. 材料科学,如晶体微观结构分析,纳米图形化加工
6. 透射电镜、EBSD、微观力学等多种样品的原位制备
7. 微纳加工
[ 产品详情 ]
蔡司Crossbeam系列聚焦离子束扫描电镜将场发射扫描电镜(FE-SEM)镜筒的强大的成像和分析性能与全新一代聚焦离子束(FIB)镜筒的高效加工能力相结合。无论是加工、刻蚀、成像或进行3D分析,都能在不损失精度的前提下,提高聚焦离子束的应用效率。通过加装飞秒激光(Femtosecond Laser)模块,Crossbeam的加工效率可进一步拓展,同时可以满足多种微纳加工需求。
低能着陆电压下获得高分辨率图像→低着陆电压下获得高分辨率图像;
加装飞秒激光模块,实现亚毫米级快速加工,同时有效避免腔室污染→加装飞秒激光模块,实现毫米级快速加工,同时有效避免腔室污染(其他网站上也相应改动);
透射电镜、EBSD、微观力学等多种样品的原位制备→透射电镜、EBSD、APT、微观力学等多种样品的原位制备(其他网站上也相应改动);