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本YAMATO等离子清洗机、等离子灰化机、等离子蚀刻机
　　
ＰＤＣ２００/２１０型等离子清洗机

【简　介】
本产品是用等离子来进行表面处理的专业装置。
桌台式，具有高性能，力求操作简便，快捷，可
显示数据。
广泛应用于以电子材料为中心的各个行业中。

【用 途】
●　用于ＣＳＰ､ＢＧＡ､ＣＯＢ基板的等离子处理
●　消除有机膜，金属酸化膜
●　用于印刷电路板的干式清洗
●　界面活性处理

【特 徵】
●　ＲＩＥ／ＤＰ模式
●　采用的电极构造可使等离子分布均匀　　　　　　　　　　　　　　　　　(((8hhh
●　便于操作的触摸屏

【规　格】
型号 PDC 200 / 210
等离子的发生模式 付带ＲＩＥ/ＤＰ切换器
电极构造　　　　　　　　　　 平行平板（电极固定）
高频输出 zei大 300W / 500Ｗ
振荡频率 １３.５６MHz 石英晶体发振
控制・显示 液晶触摸屏
内槽尺寸 宽400×深250×高150mm
载物台尺寸（有