ALICAT 耐腐蚀流量计

产品描述：

量程0-0.5sccm和0-4000slpm,100:1的量程比，内置130种气体，10ms快速响应时间，优于1%的精度

  产品特点

美国ALICAT 耐腐蚀抗腐蚀型质量流量计，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量计均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的耐腐蚀数字式质量流量计可精确、快速测量腐蚀性气体(如：NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合。

● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 可选高精度：优于0.5%
● 高量程比 100:1
● 响应时间快 仅需10ms ● 内置130种常规以及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体，并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体

技术参数介质要求：洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可
介质种类：内置了130种气体，请参考“产品资料下载”气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量程：从0-0.5SCCM 到 0-4000SLPM（详情请咨询）
量程比：100:1
最大显示流量：128%FS
显示屏：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程
高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
重复性：± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm
预热时间：< 1s
响应时间：10ms
标定工况：25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa 绝压、0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度：-10 ～ +50 ºC
工作湿度：0-100%,无冷凝
标准最大工作压力：1MPa 表压
标准极限耐压：1.2MPa 表压，进出口最大瞬时压差可为500kPa
中压耐压：2MPa
数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus、Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA
供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流：40mA
电气接口：8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头
材质：316L不锈钢、303不锈钢, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根据特殊气体选用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
防护等级：IP40
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们

产品选型介质要求：洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可
介质种类：内置了130种气体，请参考“产品资料下载”气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量程：从0-0.5SCCM 到 0-4000SLPM（详情请咨询）
量程比：100:1
最大显示流量：128%FS
显示屏：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程
高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
重复性：± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm
预热时间：< 1s
响应时间：10ms
标定工况：25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa 绝压、0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度：-10 ～ +50 ºC
工作湿度：0-100%,无冷凝
标准最大工作压力：1MPa 表压
标准极限耐压：1.2MPa 表压，进出口最大瞬时压差可为500kPa
中压耐压：2MPa
数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus、Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA
供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流：40mA
电气接口：8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头
材质：316L不锈钢、303不锈钢, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根据特殊气体选用Viton, EPDM, Buna, Neoprene