ALICAT 真空应用质量流量控制器

产品描述：

量程0-0.5SCCM到0-20SLPM,200:1的量程比，内置98种气体，100ms响应时间，优于1%精度

产品特点

美国ALICAT 真空应用带截止阀质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的真空应用系列数字式质量流量控制器是专为需要紧密关闭应用而设计的，如真空镀膜和溅射过程等。该集成气动切断阀是常闭的，并且在闭合状态下其最大氦气泄漏率仅为1x10 atm scc/s。

● 数字化产品
● 带气动截止阀，泄漏率低
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
● 可选高精度：可优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

技术参数

美国ALICAT 真空应用带截止阀质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的真空应用系列数字式质量流量控制器是专为需要紧密关闭应用而设计的，如真空镀膜和溅射过程等。该集成气动切断阀是常闭的，并且在闭合状态下其最大氦气泄漏率仅为1x10 atm scc/s。

● 数字化产品
● 带气动截止阀，泄漏率低
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
● 可选高精度：可优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

应用及案例● 大学/研究所
● 真空行业及镀膜
● 半导体
● 光伏
● 过程工艺气体测量