扫描范围(在试样上) 50 mm 100 mm 130 mm 焦点距离 250..400 mm 250..400 mm 250..400 mm 分辨率(微米) 0.1 um 0.25 um 0.3 um 精度(DIN EN 10002-4) 0.2; 0.5; 1级 0.5; 1级 0.5; 1级 扫描速率 50; 100 Hz 50; 100 Hz 50; 100 Hz 每次扫描在试样上持续时间 5.0 ms 5.0 ms 5.0 ms 在试样上扫描速度 10 m/s 20 m/s 27 m/s 试样表面 平面或结构件 平面或结构件 平面或结构件